熔融石英坩堝的燒成工藝特點與發(fā)展趨勢
上傳時間:2020年12月07日 13:31:28
多晶硅鑄錠用石英坩堝(石英方坩堝)的生產(chǎn)過程對燒制環(huán)節(jié)提出了嚴格的工藝要求,特別是用于準單晶鑄錠用的熔融石英坩堝。
多晶硅鑄錠用石英坩堝的形態(tài)上的發(fā)展趨勢是:大件(G6石英方坩堝規(guī)格達到1040mm×1040mm×500mm)、壁薄(16mm-20mm)、錦州坩堝冷卻過程初始需要快速冷卻(熔融石英的結(jié)晶工藝要求)。準單晶鑄錠用的熔融石英坩堝還對產(chǎn)品提出了更高的綜合性能,如更好的強度與熱傳導性、更低的顯氣孔率與熱膨脹系數(shù)、更均勻的密度分布等等。對此,業(yè)界錦州坩堝窯爐供應商ASBKILNS在2011年10月份最新推出了"復合脈沖燃燒控制技術(shù)"和"快速冷卻系統(tǒng)",并將其應用至石英方坩堝窯爐(石英方坩堝梭式窯、石英方坩堝隧道窯)設(shè)備中,能使錦州坩堝大件壁薄的石英方坩堝制品在升溫與保溫過程獲得更均勻的熱場和快速的冷卻速度,大大提高石英方坩堝的燒成合格率。
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